處理工藝:氮氧化物濃度較高的采用四級串聯高濃度酸霧凈化塔，添加氫氧化鈉、硫化鈉進行洗滌處理;氮氧化物濃度較低的采用兩級串聯酸霧凈化塔，添加氫氧化鈉進行洗滌處理。

主要特點:凈化效率高，結構緊湊，耐腐蝕，耐老化性能好,自動化控制，操作簡單，廣泛應用于太陽能、電子半導體等行業。

PECVD設備尾氣主要包含硅烷SiH及氨氣NH等。

處理工藝:不銹鋼燃燒筒一不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔氨氣洗滌塔+離心風機

主要特點:硅烷去除率高， 氨氣及其他水溶性氣體凈化率高，占地面積小，耐腐蝕，便于維修。